| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 赵轶 关联流通股东 | 14156.22 | 23.42 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 4083.73 | 6.76 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 3755.86 | 6.21 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 钟锋浩 关联流通股东 | 3437.30 | 5.69 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 5 | 韩笑 关联流通股东 | 1567.92 | 2.59 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 6 | 孙峰 关联流通股东 | 1558.46 | 2.58 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 7 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 1197.11 | 1.98 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 8 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 650.48 | 1.08 | 其他 | 流通A股 | -604.32 |
| 9 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 577.49 | 0.96 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 交通银行股份有限公司－南方成长先锋混合型证券投资基金 | 527.45 | 0.87 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 31512.02 | 52.14 | ||||
| 剔除公募合计 | 30407.07 | 50.31 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 4083.73 | 9.11 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 3755.86 | 8.38 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 赵轶 关联流通股东 | 3539.05 | 7.90 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 1197.11 | 2.67 | 其他 | 流通A股 | 550.32 |
| 5 | 钟锋浩 关联流通股东 | 859.33 | 1.92 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 650.48 | 1.45 | 其他 | 流通A股 | -604.32 |
| 7 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 577.49 | 1.29 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 8 | 交通银行股份有限公司－南方成长先锋混合型证券投资基金 | 527.45 | 1.18 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 9 | 招商银行股份有限公司－华夏新兴成长股票型证券投资基金 | 509.53 | 1.14 | 基金 | 流通A股 | -149.38 |
| 10 | 中国工商银行股份有限公司－金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 428.00 | 0.96 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 16128.03 | 36.00 | ||||
| 剔除公募合计 | 14085.56 | 31.44 |