| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 无数据 | ||||||
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 4083.73 | 9.11 | 其他 | 流通A股 | -2.03 |
| 2 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 3755.86 | 8.38 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 赵轶 关联流通股东 | 3539.05 | 7.90 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 1254.80 | 2.80 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 朱红军 关联流通股东 | 935.19 | 2.09 | 其他 | 流通A股 | -79.11 |
| 6 | 钟锋浩 关联流通股东 | 859.33 | 1.92 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 7 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 757.98 | 1.69 | 基金 | 流通A股 | -95.48 |
| 8 | 招商银行股份有限公司－华夏新兴成长股票型证券投资基金 | 658.90 | 1.47 | 基金 | 流通A股 | -138.02 |
| 9 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 646.79 | 1.44 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 楼希 关联流通股东 | 598.00 | 1.33 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 17089.63 | 38.14 | ||||
| 剔除公募合计 | 15672.75 | 34.98 |