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十大股东（截止日期：2023-03-31）
序号 十大股东 持股数（万股） 占总股本比例（%） 类型 股本性质 增减情况
1 上海国盛（集团）有限公司 关联流通股东 56700.00 20.76 其他 限售股 未变
2 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 56700.00 20.76 其他 限售股 未变
3 上海嘉定工业区开发（集团）有限公司 关联流通股东 15658.18 5.73 其他 流通A股 -179.15
4 上海新微科技集团有限公司 关联流通股东 13485.73 4.94 其他 流通A股 -172.56
5 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 12342.29 4.52 其他 流通A股 -1437.71
6 上海新阳半导体材料股份有限公司 关联流通股东 12317.53 4.51 其他 流通A股 1504.89
7 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 7500.00 2.75 基金 流通A股 210.00
8 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 7201.15 2.64 其他 流通A股 未变
9 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 5945.62 2.18 基金 流通A股 -63.27
10 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 5929.83 2.17 基金 流通A股 未变
合计 193780.32 70.96
剔除公募合计 174404.88 63.86


十大流通股东（截止日期：2023-03-31）
序号 十大股东 持股数（万股） 占总股本比例（%） 类型 股本性质 增减情况
1 上海嘉定工业区开发（集团）有限公司 关联流通股东 15658.18 9.87 其他 流通A股 -139.49
2 上海新微科技集团有限公司 关联流通股东 13485.73 8.50 其他 流通A股 -172.56
3 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 12342.29 7.78 其他 流通A股 -1397.71
4 上海新阳半导体材料股份有限公司 关联流通股东 12317.53 7.77 其他 流通A股 409.86
5 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 7500.00 4.73 基金 流通A股 -201.04
6 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 7201.15 4.54 其他 流通A股 未变
7 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 5945.62 3.75 基金 流通A股 -89.93
8 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 5929.83 3.74 基金 流通A股 未变
9 上海盛石资本管理有限公司－台州中硅股权投资合伙企业（有限合伙） 3319.32 2.09 其他 流通A股 -588.51
10 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 3021.28 1.90 基金 流通A股 29.97
合计 86720.92 54.67
剔除公募合计 64324.20 40.55