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十大股东（截止日期：2022-12-31）
序号 十大股东 持股数（万股） 占总股本比例（%） 类型 股本性质 增减情况
1 上海国盛（集团）有限公司 关联流通股东 56700.00 20.76 其他 限售股 未变
2 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 56700.00 20.76 其他 限售股 未变
3 上海嘉定工业区开发（集团）有限公司 关联流通股东 15837.33 5.80 其他 流通A股 -30.20
4 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 13780.00 5.04 其他 流通A股 -220.00
5 上海新微科技集团有限公司 关联流通股东 13658.29 5.00 其他 流通A股 -752.61
6 上海新阳半导体材料股份有限公司 关联流通股东 10812.64 3.96 其他 流通A股 213.04
7 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 7290.00 2.67 基金 流通A股 37.14
8 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 7201.15 2.64 其他 流通A股 未变
9 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 6008.89 2.20 基金 流通A股 新进
10 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 5929.83 2.17 基金 流通A股 -160.82
合计 193918.12 71.00
剔除公募合计 174689.41 63.96


十大流通股东（截止日期：2022-12-31）
序号 十大股东 持股数（万股） 占总股本比例（%） 类型 股本性质 增减情况
1 上海嘉定工业区开发（集团）有限公司 关联流通股东 15797.67 9.96 其他 流通A股 -69.86
2 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 13740.00 8.60 其他 流通A股 -260.00
3 上海新微科技集团有限公司 关联流通股东 13658.29 8.55 其他 流通A股 -752.61
4 上海新阳半导体材料股份有限公司 关联流通股东 11907.67 7.45 其他 流通A股 1308.07
5 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 7701.04 4.82 基金 流通A股 448.18
6 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 7201.15 4.51 其他 流通A股 未变
7 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 6035.54 3.78 基金 流通A股 2281.48
8 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 5929.83 3.71 基金 流通A股 -160.82
9 上海盛石资本管理有限公司－台州中硅股权投资合伙企业（有限合伙） 3907.83 2.45 其他 流通A股 未变
10 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 2991.31 1.87 基金 流通A股 新进
合计 88870.33 55.70
剔除公募合计 66212.61 41.51