| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 赵轶 关联流通股东 | 14156.22 | 23.42 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 4085.76 | 6.76 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 3755.86 | 6.21 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 钟锋浩 关联流通股东 | 3437.30 | 5.69 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 5 | 韩笑 关联流通股东 | 1567.92 | 2.59 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 6 | 孙峰 关联流通股东 | 1558.46 | 2.58 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 7 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 1254.80 | 2.08 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 8 | 朱红军 关联流通股东 | 1014.30 | 1.68 | 其他 | 流通A股 | 3.82 |
| 9 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 853.46 | 1.41 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 吴晓婷 关联流通股东 | 797.03 | 1.32 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 合计 | 32481.11 | 53.74 | ||||
| 剔除公募合计 | 31627.65 | 52.33 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 4085.76 | 9.31 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 3755.86 | 8.56 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 赵轶 关联流通股东 | 3539.05 | 8.07 | 其他 | 限售股+流通A股 | 0.00 |
| 4 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 1254.80 | 2.86 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 朱红军 关联流通股东 | 1014.30 | 2.31 | 其他 | 流通A股 | 3.82 |
| 6 | 钟锋浩 关联流通股东 | 859.33 | 1.96 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 7 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 853.46 | 1.95 | 基金 | 流通A股 | 345.21 |
| 8 | 吴晓婷 关联流通股东 | 797.03 | 1.82 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 9 | 招商银行股份有限公司－华夏新兴成长股票型证券投资基金 | 796.92 | 1.82 | 基金 | 流通A股 | 未变 |
| 10 | 中国工商银行股份有限公司－华安媒体互联网混合型证券投资基金 | 651.44 | 1.48 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 17607.96 | 40.13 | ||||
| 剔除公募合计 | 15306.14 | 34.89 |