| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | MEMSLink Corporation 关联流通股东 | 8080.00 | 20.20 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 2 | 北方电子研究院有限公司 关联流通股东 | 8000.00 | 20.00 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 3 | 北京芯动联科微电子技术有限公司 关联流通股东 | 5392.00 | 13.48 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 4 | 上海宝鼎投资管理有限公司－绍兴宝鼎久磊投资合伙企业（有限合伙） | 1400.00 | 3.50 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 5 | 宣佩琦 关联流通股东 | 1152.00 | 2.88 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 6 | 方正和生投资有限责任公司－安徽和壮高新技术成果基金合伙企业（有限合伙） | 960.00 | 2.40 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 7 | 北京自动化控制设备研究所 关联流通股东 | 957.60 | 2.39 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 8 | 深圳一元航天私募股权基金管理有限公司－海南奎速创业投资合伙企业（有限合伙） | 880.00 | 2.20 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 9 | 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司－福州高新区国兵晟乾成长股权投资合伙企业（有限合伙） | 800.00 | 2.00 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 10 | 深圳一元航天私募股权基金管理有限公司－航天京开创业投资（潍坊）合伙企业（有限合伙） | 642.40 | 1.61 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 合计 | 28264.00 | 70.66 | ||||
| 剔除公募合计 | 28264.00 | 70.66 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 中国银行股份有限公司－泰信中小盘精选股票型证券投资基金 | 239.00 | 5.19 | 基金 | 流通A股 | 20.00 |
| 2 | 中国建设银行股份有限公司－鹏华沪深港新兴成长灵活配置混合型证券投资基金 | 88.62 | 1.92 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 3 | 上海浦东发展银行股份有限公司－鹏华创新未来混合型证券投资基金（LOF） | 73.88 | 1.60 | 基金 | 流通A股 | 18.17 |
| 4 | 招商银行股份有限公司－富国科创板两年定期开放混合型证券投资基金 | 64.97 | 1.41 | 基金 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 全国社保基金一一四组合 | 58.95 | 1.28 | 社保 | 流通A股 | 新进 |
| 6 | 卢宗良 关联流通股东 | 58.69 | 1.27 | 其他 | 流通A股 | 1.49 |
| 7 | 中信证券股份有限公司 关联流通股东 | 54.00 | 1.17 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 8 | 广东尚伟投资管理有限责任公司－尚泰1号证券投资基金 | 53.35 | 1.16 | 其他 | 流通A股 | -0.09 |
| 9 | 中国工商银行股份有限公司－鹏华新能源汽车主题混合型证券投资基金 | 52.46 | 1.14 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 卢汉生 关联流通股东 | 51.54 | 1.12 | 其他 | 流通A股 | 1.55 |
| 合计 | 795.46 | 17.27 | ||||
| 剔除公募合计 | 217.58 | 4.72 |