| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 刘兴胜 关联流通股东 | 1195.34 | 13.29 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 2 | 王东辉 关联流通股东 | 596.91 | 6.64 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 3 | 张彤 关联流通股东 | 470.10 | 5.23 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 西安中科光机投资控股有限公司 关联流通股东 | 437.42 | 4.86 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司－陕西省集成电路产业投资基金（有限合伙） | 375.62 | 4.18 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 国投高科技投资有限公司 关联流通股东 | 338.06 | 3.76 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 7 | 陕西高端装备高技术创业投资基金（有限合伙） | 244.53 | 2.72 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 8 | 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 236.00 | 2.62 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 9 | 河南中证开元创业投资基金（有限合伙） | 220.18 | 2.45 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 10 | 马玄恒 关联流通股东 | 209.08 | 2.32 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 合计 | 4323.25 | 48.07 | ||||
| 剔除公募合计 | 4323.25 | 48.07 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 张彤 关联流通股东 | 470.10 | 7.21 | 其他 | 流通A股 | 470.00 |
| 2 | 西安中科光机投资控股有限公司 关联流通股东 | 437.42 | 6.71 | 其他 | 流通A股 | 437.42 |
| 3 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司－陕西省集成电路产业投资基金（有限合伙） | 375.62 | 5.80 | 其他 | 流通A股 | 375.62 |
| 4 | 国投高科技投资有限公司 关联流通股东 | 338.06 | 5.19 | 其他 | 流通A股 | 338.06 |
| 5 | 陕西高端装备高技术创业投资基金（有限合伙） | 244.53 | 3.77 | 其他 | 流通A股 | 244.53 |
| 6 | 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 236.00 | 3.64 | 其他 | 流通A股 | 236.00 |
| 7 | 河南中证开元创业投资基金（有限合伙） | 220.18 | 3.38 | 其他 | 流通A股 | 220.18 |
| 8 | 马玄恒 关联流通股东 | 209.08 | 3.23 | 其他 | 流通A股 | 209.08 |
| 9 | 深圳市长安汇富创业投资企业（有限合伙） 关联流通股东 | 204.89 | 3.14 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司 关联流通股东 | 166.94 | 2.58 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 2902.83 | 44.65 | ||||
| 剔除公募合计 | 2902.83 | 44.65 |