| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 上海创业投资有限公司 关联流通股东 | 9638.35 | 18.02 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 2 | 巽鑫（上海）投资有限公司 关联流通股东 | 9333.79 | 17.45 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 3 | 中微半导体设备（上海）股份有限公司未确认持有人证券专用账户 | 7626.55 | 14.26 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 4 | 南昌智微企业管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 3064.45 | 5.73 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 5 | 置都（上海）投资中心（有限合伙） 关联流通股东 | 2638.40 | 4.93 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 6 | 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 2256.60 | 4.22 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 7 | 国开创新资本投资有限责任公司 关联流通股东 | 1969.12 | 3.68 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 8 | 嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 1318.40 | 2.46 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 9 | 义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 1279.62 | 2.39 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 10 | 上海自贸区股权投资基金管理有限公司－上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙） | 1183.48 | 2.21 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 合计 | 40308.76 | 75.35 | ||||
| 剔除公募合计 | 40308.76 | 75.35 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 中国建设银行股份有限公司－银华富裕主题混合型证券投资基金 | 170.79 | 3.53 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 2 | 光大证券股份有限公司 关联流通股东 | 100.00 | 2.07 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 赵建平 关联流通股东 | 70.00 | 1.45 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 4 | 中国农业银行股份有限公司－南方智锐混合型证券投资基金 | 54.49 | 1.13 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 5 | 中国建设银行股份有限公司－银河行业优选混合型证券投资基金 | 47.00 | 0.97 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 6 | 中国工商银行－南方绩优成长股票型证券投资基金 | 46.00 | 0.95 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 7 | 交通银行股份有限公司－万家行业优选混合型证券投资基金（LOF） | 43.30 | 0.89 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 8 | 中国建设银行股份有限公司－万家科创主题3年封闭运作灵活配置混合型证券投资基金 | 38.87 | 0.80 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 9 | 孙玉香 关联流通股东 | 29.33 | 0.61 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 全国社保基金一一四组合 | 28.50 | 0.59 | 社保 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 628.29 | 12.97 | ||||
| 剔除公募合计 | 199.33 | 4.12 |