| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 9 | 长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 84.87 | 0.19 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 中国银行股份有限公司－招商量化精选股票型发起式证券投资基金 | 81.00 | 0.18 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 5 | 张茜 关联流通股东 | 833.58 | 1.87 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 1 | 苏州源华创兴投资管理有限公司 关联流通股东 | 23097.60 | 51.86 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 陈文源 关联流通股东 | 5740.40 | 12.89 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 苏州源奋企业管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 3198.10 | 7.18 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 8 | 苏州华兴源创科技股份有限公司－2024年员工持股计划 | 88.80 | 0.20 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 苏州源客企业管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 3198.10 | 7.18 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 365.43 | 0.82 | 其他 | 流通A股 | 107.19 |
| 7 | 苏州华兴源创科技股份有限公司－2025年员工持股计划 | 174.30 | 0.39 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 36862.18 | 82.76 | ||||
| 剔除公募合计 | 36696.31 | 82.39 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 6 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 365.43 | 0.82 | 其他 | 流通A股 | 107.19 |
| 10 | 中国银行股份有限公司－招商量化精选股票型发起式证券投资基金 | 81.00 | 0.18 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 3 | 苏州源客企业管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 3198.10 | 7.18 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 苏州源奋企业管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 3198.10 | 7.18 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 9 | 长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 84.87 | 0.19 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 1 | 苏州源华创兴投资管理有限公司 关联流通股东 | 23097.60 | 51.86 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 张茜 关联流通股东 | 833.58 | 1.87 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 陈文源 关联流通股东 | 5740.40 | 12.89 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 8 | 苏州华兴源创科技股份有限公司－2024年员工持股计划 | 88.80 | 0.20 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 7 | 苏州华兴源创科技股份有限公司－2025年员工持股计划 | 174.30 | 0.39 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 36862.18 | 82.77 | ||||
| 剔除公募合计 | 36696.31 | 82.39 |