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十大股东（截止日期：2021-12-31）
序号 十大股东 持股数（万股） 占总股本比例（%） 类型 股本性质 增减情况
1 赵轶 关联流通股东 14156.22 23.42 其他 限售股+流通A股 未变
2 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 4085.76 6.76 其他 流通A股 -604.33
3 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 3755.86 6.21 其他 流通A股 未变
4 钟锋浩 关联流通股东 3437.30 5.69 其他 限售股+流通A股 未变
5 韩笑 关联流通股东 1567.92 2.59 其他 限售股+流通A股 未变
6 孙峰 关联流通股东 1558.46 2.58 其他 限售股+流通A股 未变
7 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） 1254.80 2.08 其他 流通A股 -424.53
8 朱红军 关联流通股东 1010.48 1.67 其他 流通A股 -41.71
9 吴晓婷 关联流通股东 797.03 1.32 其他 流通A股 -86.48
10 招商银行股份有限公司－华夏新兴成长股票型证券投资基金 796.92 1.32 基金 流通A股 新进
合计 32420.75 53.64
剔除公募合计 31623.83 52.32


十大流通股东（截止日期：2021-12-31）
序号 十大股东 持股数（万股） 占总股本比例（%） 类型 股本性质 增减情况
1 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 4085.76 9.31 其他 流通A股 -604.33
2 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 3755.86 8.56 其他 流通A股 未变
3 赵轶 关联流通股东 3539.06 8.07 其他 限售股+流通A股 未变
4 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） 1254.80 2.86 其他 流通A股 -424.53
5 朱红军 关联流通股东 1010.48 2.30 其他 流通A股 1010.48
6 钟锋浩 关联流通股东 859.33 1.96 其他 限售股+流通A股 未变
7 吴晓婷 关联流通股东 797.03 1.82 其他 流通A股 -86.48
8 招商银行股份有限公司－华夏新兴成长股票型证券投资基金 796.92 1.82 基金 流通A股 244.59
9 秦怡 关联流通股东 561.09 1.28 其他 流通A股 -33.83
10 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 508.25 1.16 基金 流通A股 新进
合计 17168.58 39.13
剔除公募合计 15863.40 36.16