| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 赵轶 关联流通股东 | 7450.64 | 23.74 | 其他 | 限售股+流通A股 | -510.00 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 3096.04 | 9.87 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 2407.59 | 7.67 | 其他 | 流通A股 | -63.36 |
| 4 | 钟锋浩 关联流通股东 | 1809.11 | 5.77 | 其他 | 限售股+流通A股 | -200.00 |
| 5 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 1032.76 | 3.29 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 韩笑 关联流通股东 | 825.22 | 2.63 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 7 | 孙峰 关联流通股东 | 820.24 | 2.61 | 其他 | 限售股+流通A股 | -160.00 |
| 8 | 宁波天堂硅谷和慧创业投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 718.97 | 2.29 | 其他 | 流通A股 | -313.79 |
| 9 | 吴晓婷 关联流通股东 | 670.00 | 2.14 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 朱红军 关联流通股东 | 553.79 | 1.76 | 其他 | 限售股+流通A股 | 新进 |
| 合计 | 19384.36 | 61.77 | ||||
| 剔除公募合计 | 19384.36 | 61.77 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 3096.04 | 14.37 | 其他 | 流通A股 | 1032.76 |
| 2 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 2407.59 | 11.17 | 其他 | 流通A股 | -63.36 |
| 3 | 赵轶 关联流通股东 | 1480.16 | 6.87 | 其他 | 限售股+流通A股 | -510.00 |
| 4 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 1032.76 | 4.79 | 其他 | 流通A股 | 1032.76 |
| 5 | 宁波天堂硅谷和慧创业投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 718.97 | 3.34 | 其他 | 流通A股 | 718.97 |
| 6 | 吴晓婷 关联流通股东 | 670.00 | 3.11 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 7 | 上海仁灏投资管理中心（有限合伙）－仁灏价值发现一号私募证券投资基金 | 341.81 | 1.59 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 8 | 钟锋浩 关联流通股东 | 302.28 | 1.40 | 其他 | 限售股+流通A股 | -200.00 |
| 9 | 秦怡 关联流通股东 | 259.63 | 1.20 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 242.64 | 1.13 | 基金 | 流通A股 | 0.07 |
| 合计 | 10551.88 | 48.96 | ||||
| 剔除公募合计 | 10309.24 | 47.83 |