| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 赵轶 关联流通股东 | 7960.64 | 25.33 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 3096.04 | 9.85 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 3 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 2470.95 | 7.86 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 4 | 钟锋浩 关联流通股东 | 2009.11 | 6.39 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 5 | 孙峰 关联流通股东 | 1056.06 | 3.36 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 6 | 宁波天堂硅谷和慧创业投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 1032.76 | 3.29 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 6 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 1032.76 | 3.29 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 8 | 韩笑 关联流通股东 | 1005.22 | 3.20 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 9 | 朱红军 关联流通股东 | 703.79 | 2.24 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 10 | 浙江天堂硅谷合丰创业投资有限公司 关联流通股东 | 595.76 | 1.90 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 合计 | 20963.09 | 66.71 | ||||
| 剔除公募合计 | 20963.09 | 66.71 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 2063.28 | 16.28 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 2 | 浙江天堂硅谷合丰创业投资有限公司 关联流通股东 | 595.76 | 4.70 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 中国工商银行股份有限公司－广发双擎升级混合型证券投资基金 | 472.07 | 3.73 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 4 | 杭州士兰创业投资有限公司 关联流通股东 | 297.84 | 2.35 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 中国农业银行股份有限公司－中邮信息产业灵活配置混合型证券投资基金 | 289.99 | 2.29 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 6 | 中国农业银行股份有限公司－国泰金牛创新成长混合型证券投资基金 | 265.00 | 2.09 | 基金 | 流通A股 | 145.19 |
| 7 | 招商银行股份有限公司－国泰聚优价值灵活配置混合型证券投资基金 | 210.00 | 1.66 | 基金 | 流通A股 | 34.48 |
| 8 | 中国农业银行股份有限公司－中邮核心成长混合型证券投资基金 | 130.96 | 1.03 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 9 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体行业交易型开放式指数证券投资基金 | 97.75 | 0.77 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 中国工商银行股份有限公司－中海量化策略混合型证券投资基金 | 97.53 | 0.77 | 基金 | 流通A股 | -35.56 |
| 合计 | 4520.19 | 35.67 | ||||
| 剔除公募合计 | 2956.88 | 23.34 |