| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 飞凯控股有限公司 关联流通股东 | 11823.75 | 22.37 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 3584.62 | 6.78 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 865.10 | 1.64 | 其他 | 流通A股 | 267.08 |
| 4 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 关联流通股东 | 862.03 | 1.63 | 其他 | 流通A股 | -21.54 |
| 5 | 上海康奇投资有限公司 关联流通股东 | 746.67 | 1.41 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 新余汉和泰兴管理咨询有限公司 关联流通股东 | 438.00 | 0.83 | 其他 | 流通A股 | -23.62 |
| 7 | 刘立新 关联流通股东 | 389.29 | 0.74 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 8 | 张冬燕 关联流通股东 | 272.60 | 0.52 | 其他 | 流通A股 | -2.40 |
| 9 | 深圳市汉志投资有限公司 关联流通股东 | 271.05 | 0.51 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 10 | 北京德乐管理咨询有限公司 关联流通股东 | 219.00 | 0.41 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 19472.12 | 36.84 | ||||
| 剔除公募合计 | 19472.12 | 36.84 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 飞凯控股有限公司 关联流通股东 | 11823.75 | 22.50 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 3584.62 | 6.82 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 865.10 | 1.65 | 其他 | 流通A股 | 267.08 |
| 4 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 关联流通股东 | 862.03 | 1.64 | 其他 | 流通A股 | -21.54 |
| 5 | 上海康奇投资有限公司 关联流通股东 | 746.67 | 1.42 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 新余汉和泰兴管理咨询有限公司 关联流通股东 | 438.00 | 0.83 | 其他 | 流通A股 | -23.62 |
| 7 | 刘立新 关联流通股东 | 389.29 | 0.74 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 8 | 张冬燕 关联流通股东 | 272.60 | 0.52 | 其他 | 流通A股 | -2.40 |
| 9 | 深圳市汉志投资有限公司 关联流通股东 | 271.05 | 0.52 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 10 | 北京德乐管理咨询有限公司 关联流通股东 | 219.00 | 0.42 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 19472.12 | 37.06 | ||||
| 剔除公募合计 | 19472.12 | 37.06 |