| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | MEMSLink Corporation 关联流通股东 | 8080.00 | 20.16 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 2 | 安徽北方微电子研究院集团有限公司 关联流通股东 | 5565.66 | 13.89 | 其他 | 流通A股 | -34.34 |
| 3 | 北京芯动联科微电子技术有限公司 关联流通股东 | 5392.00 | 13.46 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 4 | 宣佩琦 关联流通股东 | 1152.00 | 2.87 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 5 | 北方电子研究院有限公司 关联流通股东 | 1137.79 | 2.84 | 其他 | 流通A股 | -60.08 |
| 6 | 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司－北京市西城区晟乾成长创业投资基金合伙企业（有限合伙） | 799.73 | 2.00 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 7 | 北京自动化控制设备研究所 关联流通股东 | 700.00 | 1.75 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 8 | 金晓冬 关联流通股东 | 528.00 | 1.32 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 9 | 华亚平 关联流通股东 | 480.00 | 1.20 | 其他 | 流通A股 | -65.62 |
| 10 | 中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 454.89 | 1.14 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 24290.07 | 60.63 | ||||
| 剔除公募合计 | 23835.17 | 59.49 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 安徽北方微电子研究院集团有限公司 关联流通股东 | 5565.66 | 22.33 | 其他 | 流通A股 | -34.34 |
| 2 | 北方电子研究院有限公司 关联流通股东 | 1137.79 | 4.57 | 其他 | 流通A股 | -60.08 |
| 3 | 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司－北京市西城区晟乾成长创业投资基金合伙企业（有限合伙） | 799.73 | 3.21 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 北京自动化控制设备研究所 关联流通股东 | 700.00 | 2.81 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 华亚平 关联流通股东 | 480.00 | 1.93 | 其他 | 流通A股 | -65.62 |
| 6 | 中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 454.89 | 1.83 | 基金 | 流通A股 | -20.95 |
| 7 | 林明 关联流通股东 | 360.00 | 1.44 | 其他 | 流通A股 | -120.00 |
| 8 | 嘉兴鑫汇芯联创业投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 320.00 | 1.28 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 9 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 295.39 | 1.19 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 292.47 | 1.17 | 基金 | 流通A股 | -10.27 |
| 合计 | 10405.92 | 41.76 | ||||
| 剔除公募合计 | 9658.56 | 38.76 |