| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 剔除公募合计 | 10360.64 | 58.77 | ||||
| 合计 | 10729.72 | 60.87 | ||||
| 8 | 全国社保基金一一四组合 | 232.28 | 1.32 | 社保 | 流通A股 | 未变 |
| 7 | 武汉达润投资管理有限公司－宁波璞玉股权投资合伙企业（有限合伙） | 613.88 | 3.48 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 9 | 国投创业投资管理有限公司－国投（宁波）科技成果转化创业投资基金合伙企业（有限合伙） | 178.08 | 1.01 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 哈勃科技创业投资有限公司 关联流通股东 | 658.45 | 3.74 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 10 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 136.80 | 0.78 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 3 | 长春长光精密仪器集团有限公司 关联流通股东 | 1153.10 | 6.54 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 5 | 伊犁苏新投资基金合伙企业（有限合伙） | 861.24 | 4.89 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 苏州英镭企业管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 2613.00 | 14.82 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 1 | 苏州华丰投资中心（有限合伙） 关联流通股东 | 3240.90 | 18.38 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 4 | 国投（上海）创业投资管理有限公司－国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙） | 1041.99 | 5.91 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 剔除公募合计 | 3048.43 | 30.60 | ||||
| 合计 | 3518.30 | 35.32 | ||||
| 7 | 华泰创新投资有限公司 关联流通股东 | 132.21 | 1.33 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 9 | 吴真林 关联流通股东 | 104.00 | 1.04 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 1 | 国投（上海）创业投资管理有限公司－国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙） | 1041.99 | 10.46 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 全国社保基金一一四组合 | 232.28 | 2.33 | 社保 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 136.80 | 1.37 | 基金 | 流通A股 | 38.64 |
| 10 | 中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 100.79 | 1.01 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 2 | 伊犁苏新投资基金合伙企业（有限合伙） | 861.24 | 8.64 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 国投创业投资管理有限公司－国投（宁波）科技成果转化创业投资基金合伙企业（有限合伙） | 178.08 | 1.79 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 武汉达润投资管理有限公司－宁波璞玉股权投资合伙企业（有限合伙） | 613.88 | 6.16 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 8 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 117.03 | 1.17 | 其他 | 流通A股 | 28.10 |