| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 沈阳先进制造技术产业有限公司 关联流通股东 | 1433.24 | 17.06 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 2 | 中国科学院沈阳自动化研究所 关联流通股东 | 1050.00 | 12.50 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 3 | 辽宁科发实业有限公司 关联流通股东 | 993.28 | 11.82 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 4 | 中国科技产业投资管理有限公司 关联流通股东 | 511.50 | 6.09 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 368.00 | 4.38 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 6 | 周冰冰 关联流通股东 | 299.48 | 3.57 | 其他 | 流通A股 | -22.00 |
| 7 | 宗润福 关联流通股东 | 265.00 | 3.15 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 8 | 国科瑞祺物联网创业投资有限公司 关联流通股东 | 225.00 | 2.68 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 9 | 李风莉 关联流通股东 | 140.00 | 1.67 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 10 | 全国社保基金一一六组合 | 126.13 | 1.50 | 社保 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 5411.63 | 64.42 | ||||
| 剔除公募合计 | 4917.50 | 58.54 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 中国科技产业投资管理有限公司 关联流通股东 | 511.50 | 11.73 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 368.00 | 8.44 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 3 | 周冰冰 关联流通股东 | 299.48 | 6.87 | 其他 | 流通A股 | -22.00 |
| 4 | 国科瑞祺物联网创业投资有限公司 关联流通股东 | 225.00 | 5.16 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 全国社保基金一一六组合 | 126.13 | 2.89 | 社保 | 流通A股 | 新进 |
| 6 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 80.93 | 1.86 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 7 | 王绍勇 关联流通股东 | 74.40 | 1.71 | 其他 | 流通A股 | -5.60 |
| 8 | 中国工商银行股份有限公司－博时科创板三年定期开放混合型证券投资基金 | 70.91 | 1.63 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 9 | 招商银行股份有限公司－南方科创板3年定期开放混合型证券投资基金 | 70.71 | 1.62 | 基金 | 流通A股 | -33.03 |
| 10 | 中国建设银行股份有限公司－易方达科创板两年定期开放混合型证券投资基金 | 63.97 | 1.47 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 1891.03 | 43.37 | ||||
| 剔除公募合计 | 1110.38 | 25.46 |