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十大股东（截止日期：2021-09-30）
序号 十大股东 持股数（万股） 占总股本比例（%） 类型 股本性质 增减情况
1 赵轶 关联流通股东 14156.22 23.42 其他 限售股+流通A股 6705.58
2 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 4690.09 7.76 其他 流通A股 1907.83
3 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 3755.86 6.21 其他 流通A股 1779.09
4 钟锋浩 关联流通股东 3437.30 5.69 其他 限售股+流通A股 1628.20
5 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） 1679.33 2.78 其他 流通A股 646.57
6 韩笑 关联流通股东 1567.92 2.59 其他 限售股+流通A股 742.70
7 孙峰 关联流通股东 1558.46 2.58 其他 限售股+流通A股 738.22
8 朱红军 关联流通股东 1052.19 1.74 其他 限售股 498.41
9 上海仁灏投资管理中心（有限合伙）－仁灏价值发现一号私募证券投资基金 936.90 1.55 其他 流通A股 新进
10 吴晓婷 关联流通股东 883.51 1.46 其他 流通A股 213.52
合计 33717.78 55.78
剔除公募合计 33717.78 55.78


十大流通股东（截止日期：2021-09-30）
序号 十大股东 持股数（万股） 占总股本比例（%） 类型 股本性质 增减情况
1 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 4690.09 10.97 其他 流通A股 1907.83
2 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 3755.86 8.79 其他 流通A股 1779.09
3 赵轶 关联流通股东 3539.06 8.28 其他 限售股+流通A股 1676.39
4 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） 1679.33 3.93 其他 流通A股 646.57
5 上海仁灏投资管理中心（有限合伙）－仁灏价值发现一号私募证券投资基金 936.90 2.19 其他 流通A股 462.55
6 吴晓婷 关联流通股东 883.51 2.07 其他 流通A股 213.52
7 钟锋浩 关联流通股东 859.33 2.01 其他 限售股+流通A股 407.05
9 招商银行股份有限公司－华夏新兴成长股票型证券投资基金 552.33 1.29 基金 流通A股 新进
10 李春卫 关联流通股东 550.44 1.29 其他 流通A股 167.31
合计 17446.84 40.82
剔除公募合计 16894.51 39.52