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十大股东（截止日期：2021-09-30）
序号 十大股东 持股数（万股） 占总股本比例（%） 类型 股本性质 增减情况
1 飞凯控股有限公司 关联流通股东 15922.56 30.85 其他 流通A股 -911.70
2 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） 3584.62 6.95 其他 流通A股 未变
3 上海康奇投资有限公司 关联流通股东 884.67 1.71 其他 流通A股 未变
4 北京芯动能投资基金（有限合伙） 839.70 1.63 其他 流通A股 -55.82
5 北京联科斯凯物流软件有限公司 关联流通股东 820.28 1.59 其他 流通A股 -375.40
8 香港中央结算有限公司 关联流通股东 473.54 0.92 其他 流通A股 新进
9 游石枝 关联流通股东 383.13 0.74 其他 流通A股 未变
10 张艳霞 关联流通股东 351.46 0.68 其他 限售股+流通A股 新进
合计 23259.97 45.07
剔除公募合计 23259.97 45.07


十大流通股东（截止日期：2021-09-30）
序号 十大股东 持股数（万股） 占总股本比例（%） 类型 股本性质 增减情况
1 飞凯控股有限公司 关联流通股东 15922.56 31.23 其他 流通A股 -911.70
2 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） 3584.62 7.03 其他 流通A股 未变
3 上海康奇投资有限公司 关联流通股东 884.67 1.74 其他 流通A股 未变
4 北京芯动能投资基金（有限合伙） 839.70 1.65 其他 流通A股 -55.82
5 北京联科斯凯物流软件有限公司 关联流通股东 820.28 1.61 其他 流通A股 -375.40
8 香港中央结算有限公司 关联流通股东 473.54 0.93 其他 流通A股 新进
9 游石枝 关联流通股东 383.13 0.75 其他 流通A股 未变
10 深圳市汉志投资有限公司 关联流通股东 312.05 0.61 其他 流通A股 -140.56
合计 23220.56 45.55
剔除公募合计 23220.56 45.55