| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | MEMSLink Corporation 关联流通股东 | 8080.00 | 20.11 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 海南芯动联科投资有限公司（曾用名：北京芯动联科微电子技术有限公司） 关联流通股东 | 5392.00 | 13.42 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 安徽北方微电子研究院集团有限公司 关联流通股东 | 5366.87 | 13.36 | 其他 | 流通A股 | -32.77 |
| 4 | 宣佩琦 关联流通股东 | 1152.00 | 2.87 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 1131.87 | 2.82 | 其他 | 流通A股 | 213.27 |
| 6 | 北方电子研究院有限公司 关联流通股东 | 917.05 | 2.28 | 其他 | 流通A股 | -178.70 |
| 7 | 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司－北京市西城区晟乾成长创业投资基金合伙企业（有限合伙） | 711.13 | 1.77 | 其他 | 流通A股 | -88.60 |
| 8 | 金晓冬 关联流通股东 | 528.00 | 1.31 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 9 | 华亚平 关联流通股东 | 480.00 | 1.19 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 10 | 北京自动化控制设备研究所 关联流通股东 | 457.58 | 1.14 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 合计 | 24216.49 | 60.27 | ||||
| 剔除公募合计 | 24216.49 | 60.27 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | MEMSLink Corporation 关联流通股东 | 8080.00 | 20.11 | 其他 | 流通A股 | 8080.00 |
| 2 | 海南芯动联科投资有限公司（曾用名：北京芯动联科微电子技术有限公司） 关联流通股东 | 5392.00 | 13.42 | 其他 | 流通A股 | 5392.00 |
| 3 | 安徽北方微电子研究院集团有限公司 关联流通股东 | 5366.87 | 13.36 | 其他 | 流通A股 | -32.77 |
| 4 | 宣佩琦 关联流通股东 | 1152.00 | 2.87 | 其他 | 流通A股 | 1152.00 |
| 5 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 1131.87 | 2.82 | 其他 | 流通A股 | 213.27 |
| 6 | 北方电子研究院有限公司 关联流通股东 | 917.05 | 2.28 | 其他 | 流通A股 | -178.70 |
| 7 | 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司－北京市西城区晟乾成长创业投资基金合伙企业（有限合伙） | 711.13 | 1.77 | 其他 | 流通A股 | -88.60 |
| 8 | 金晓冬 关联流通股东 | 528.00 | 1.31 | 其他 | 流通A股 | 528.00 |
| 9 | 华亚平 关联流通股东 | 480.00 | 1.19 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 10 | 北京自动化控制设备研究所 关联流通股东 | 457.58 | 1.14 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 合计 | 24216.49 | 60.28 | ||||
| 剔除公募合计 | 24216.49 | 60.28 |