| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 5 | 辽宁科发实业有限公司 关联流通股东 | 1480.00 | 4.83 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 国投（上海）创业投资管理有限公司－国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙） | 2570.50 | 8.39 | 其他 | 流通A股 | -165.87 |
| 2 | 泰州祥浦创业投资基金合伙企业（有限合伙） | 3062.11 | 10.00 | 其他 | 流通A股 | -550.96 |
| 9 | 中国建设银行股份有限公司－南方信息创新混合型证券投资基金 | 461.19 | 1.51 | 基金 | 流通A股 | -140.03 |
| 4 | 郑广文 关联流通股东 | 1483.94 | 4.85 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 宁波芯富投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 888.00 | 2.90 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 10 | 长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 374.01 | 1.22 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 8 | 中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合型证券投资基金 | 550.28 | 1.80 | 基金 | 流通A股 | -115.25 |
| 1 | 沈阳先进制造技术产业有限公司 关联流通股东 | 5511.71 | 18.00 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 7 | 中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 868.18 | 2.84 | 基金 | 流通A股 | -250.03 |
| 合计 | 17249.91 | 56.34 | ||||
| 剔除公募合计 | 14996.25 | 48.97 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 10 | 长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 374.01 | 1.22 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 2 | 泰州祥浦创业投资基金合伙企业（有限合伙） | 3062.11 | 10.00 | 其他 | 流通A股 | -550.96 |
| 1 | 沈阳先进制造技术产业有限公司 关联流通股东 | 5511.71 | 18.00 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 宁波芯富投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 888.00 | 2.90 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 国投（上海）创业投资管理有限公司－国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙） | 2570.50 | 8.39 | 其他 | 流通A股 | -165.87 |
| 5 | 辽宁科发实业有限公司 关联流通股东 | 1480.00 | 4.83 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 7 | 中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 868.18 | 2.84 | 基金 | 流通A股 | -250.03 |
| 9 | 中国建设银行股份有限公司－南方信息创新混合型证券投资基金 | 461.19 | 1.51 | 基金 | 流通A股 | -140.03 |
| 8 | 中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合型证券投资基金 | 550.28 | 1.80 | 基金 | 流通A股 | -115.25 |
| 4 | 郑广文 关联流通股东 | 1483.94 | 4.85 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 合计 | 17249.91 | 56.33 | ||||
| 剔除公募合计 | 14996.25 | 48.97 |