| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 9 | 中国建设银行股份有限公司－南方信息创新混合型证券投资基金 | 396.87 | 1.29 | 基金 | 流通A股 | 99.59 |
| 2 | 宁波祥浦创业投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 5004.00 | 16.25 | 其他 | 限售股 | 1622.92 |
| 3 | 国投（上海）创业投资管理有限公司－国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙） | 4228.57 | 13.73 | 其他 | 流通A股 | 1371.43 |
| 7 | 宁波芯富投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 888.00 | 2.88 | 其他 | 限售股 | 288.00 |
| 8 | 中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合型证券投资基金 | 535.00 | 1.74 | 基金 | 流通A股 | 187.76 |
| 1 | 沈阳先进制造技术产业有限公司 关联流通股东 | 5231.73 | 16.98 | 其他 | 限售股 | 1696.78 |
| 6 | 海通新能源私募股权投资管理有限公司－辽宁中德产业股权投资基金合伙企业（有限合伙） | 1480.00 | 4.80 | 其他 | 流通A股 | 480.00 |
| 4 | 郑广文 关联流通股东 | 1480.00 | 4.80 | 其他 | 限售股 | 480.00 |
| 10 | 中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 386.05 | 1.25 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 5 | 辽宁科发实业有限公司 关联流通股东 | 1480.00 | 4.80 | 其他 | 流通A股 | 480.00 |
| 合计 | 21110.21 | 68.52 | ||||
| 剔除公募合计 | 19792.29 | 64.24 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 6 | 中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 386.05 | 2.18 | 基金 | 流通A股 | 180.94 |
| 2 | 辽宁科发实业有限公司 关联流通股东 | 1480.00 | 8.37 | 其他 | 流通A股 | 480.00 |
| 10 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 198.52 | 1.12 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 7 | 中信证券－中信银行－中信证券富创精密员工参与科创板战略配售集合资产管理计划 | 351.32 | 1.99 | 其他 | 流通A股 | 113.94 |
| 4 | 中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合型证券投资基金 | 535.00 | 3.02 | 基金 | 流通A股 | 187.76 |
| 8 | 中国工商银行股份有限公司－金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 259.00 | 1.46 | 基金 | 流通A股 | 90.00 |
| 5 | 中国建设银行股份有限公司－南方信息创新混合型证券投资基金 | 396.87 | 2.24 | 基金 | 流通A股 | 99.59 |
| 1 | 国投（上海）创业投资管理有限公司－国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙） | 4228.57 | 23.90 | 其他 | 流通A股 | 1371.43 |
| 3 | 海通新能源私募股权投资管理有限公司－辽宁中德产业股权投资基金合伙企业（有限合伙） | 1480.00 | 8.37 | 其他 | 流通A股 | 480.00 |
| 9 | 青岛浑璞守一私募基金管理有限公司－青岛浑璞高精尖投资中心（有限合伙 | 232.36 | 1.31 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 9547.69 | 53.97 | ||||
| 剔除公募合计 | 7772.25 | 43.93 |