| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 2 | 国投（上海）创业投资管理有限公司－国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙） | 2655.76 | 7.58 | 其他 | 流通A股 | -70.96 |
| 9 | 长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 500.98 | 1.43 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 463.94 | 1.32 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 1 | 苏州翌流明光电科技有限公司 关联流通股东 | 3780.10 | 10.80 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 7 | 中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合型证券投资基金 | 683.10 | 1.95 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 5 | 中国科学院微电子研究所 关联流通股东 | 960.41 | 2.74 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 深圳小纳光实验室投资企业（有限合伙） 关联流通股东 | 1885.59 | 5.38 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 780.37 | 2.23 | 基金 | 流通A股 | 148.68 |
| 8 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 648.55 | 1.85 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 4 | 哈承姝 关联流通股东 | 1664.39 | 4.75 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 合计 | 14023.18 | 40.03 | ||||
| 剔除公募合计 | 11594.79 | 33.10 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 5 | 中国科学院微电子研究所 关联流通股东 | 960.41 | 2.74 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 8 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 648.55 | 1.85 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 3 | 深圳小纳光实验室投资企业（有限合伙） 关联流通股东 | 1885.59 | 5.38 | 其他 | 流通A股 | 1885.59 |
| 6 | 中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 780.37 | 2.23 | 基金 | 流通A股 | 148.68 |
| 4 | 哈承姝 关联流通股东 | 1664.39 | 4.75 | 其他 | 流通A股 | 1664.39 |
| 10 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 463.94 | 1.32 | 基金 | 流通A股 | -14.96 |
| 9 | 长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 500.98 | 1.43 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 7 | 中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合型证券投资基金 | 683.10 | 1.95 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 2 | 国投（上海）创业投资管理有限公司－国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙） | 2655.76 | 7.58 | 其他 | 流通A股 | -70.96 |
| 1 | 苏州翌流明光电科技有限公司 关联流通股东 | 3780.10 | 10.80 | 其他 | 流通A股 | 3780.10 |
| 合计 | 14023.18 | 40.05 | ||||
| 剔除公募合计 | 11594.79 | 33.11 |