| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 9 | 杨锋 关联流通股东 | 164.67 | 0.31 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 8 | 中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 230.74 | 0.44 | 基金 | 流通A股 | -102.47 |
| 7 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 274.20 | 0.52 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 6 | 长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 294.98 | 0.56 | 基金 | 流通A股 | -22.07 |
| 5 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 303.13 | 0.57 | 基金 | 流通A股 | -59.05 |
| 2 | 中船投资发展有限公司 关联流通股东 | 1822.50 | 3.44 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 1 | 派瑞科技有限公司 关联流通股东 | 36621.59 | 69.17 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 4 | 德州万海长风投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 805.47 | 1.52 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 3 | 德州万海长红投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 1250.44 | 2.36 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | J.P.Morgan Securities PLC－自有资金 | 127.14 | 0.24 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 41894.85 | 79.13 | ||||
| 剔除公募合计 | 41066.00 | 77.56 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 10 | 中国银行股份有限公司－易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 116.22 | 0.80 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 9 | 刘茂昌 关联流通股东 | 117.49 | 0.81 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 7 | 杨锋 关联流通股东 | 164.67 | 1.14 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 6 | 中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 230.74 | 1.59 | 基金 | 流通A股 | -102.47 |
| 5 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 274.20 | 1.89 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 4 | 长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 294.98 | 2.03 | 基金 | 流通A股 | -22.07 |
| 3 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 303.13 | 2.09 | 基金 | 流通A股 | -59.05 |
| 8 | J.P.Morgan Securities PLC－自有资金 | 127.14 | 0.88 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 2 | 德州万海长风投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 805.47 | 5.56 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 1 | 德州万海长红投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 1250.44 | 8.63 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 3684.48 | 25.42 | ||||
| 剔除公募合计 | 2739.40 | 18.90 |