| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 上海国盛（集团）有限公司 关联流通股东 | 56700.00 | 22.86 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 56700.00 | 22.86 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 3 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 16200.00 | 6.53 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 上海嘉定工业区开发（集团）有限公司 关联流通股东 | 15443.76 | 6.23 | 其他 | 限售股+流通A股 | -1983.50 |
| 5 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 关联流通股东 | 13965.35 | 5.63 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 6 | 上海新微科技集团有限公司 关联流通股东 | 13750.00 | 5.54 | 其他 | 流通A股 | -2450.00 |
| 8 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 4172.35 | 1.68 | 基金 | 流通A股 | 572.96 |
| 9 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 2900.00 | 1.17 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 1962.35 | 0.79 | 基金 | 流通A股 | 41.27 |
| 合计 | 181793.81 | 73.29 | ||||
| 剔除公募合计 | 172759.11 | 69.65 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 16200.00 | 14.73 | 其他 | 流通A股 | 16200.00 |
| 2 | 上海嘉定工业区开发（集团）有限公司 关联流通股东 | 14216.50 | 12.93 | 其他 | 限售股+流通A股 | 14216.50 |
| 3 | 上海新微科技集团有限公司 关联流通股东 | 13750.00 | 12.50 | 其他 | 流通A股 | 13750.00 |
| 5 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 4172.35 | 3.79 | 基金 | 流通A股 | 572.96 |
| 6 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 2900.00 | 2.64 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 7 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 1962.35 | 1.78 | 基金 | 流通A股 | 41.27 |
| 8 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 992.03 | 0.90 | 基金 | 流通A股 | -832.44 |
| 10 | 中国工商银行股份有限公司－易方达上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 586.14 | 0.53 | 基金 | 流通A股 | 25.96 |
| 合计 | 54779.36 | 49.80 | ||||
| 剔除公募合计 | 44166.50 | 40.15 |