| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 杭州广立微股权投资有限公司 关联流通股东 | 3324.28 | 16.60 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 杭州广立共创投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 1824.77 | 9.11 | 其他 | 流通A股 | -74.82 |
| 3 | 史峥 关联流通股东 | 1638.20 | 8.18 | 其他 | 限售股+流通A股 | -0.20 |
| 4 | 郑勇军 关联流通股东 | 1172.73 | 5.86 | 其他 | 限售股+流通A股 | -31.51 |
| 5 | 杨慎知 关联流通股东 | 589.05 | 2.94 | 其他 | 限售股+流通A股 | -4.57 |
| 6 | 杭州广立共进企业管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 529.64 | 2.64 | 其他 | 流通A股 | -21.72 |
| 7 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 451.49 | 2.25 | 其他 | 流通A股 | 156.70 |
| 8 | 北京武岳峰中清正合科技创业投资管理有限公司－北京武岳峰亦合高科技产业投资合伙企业（有限合伙） | 284.08 | 1.42 | 其他 | 流通A股 | -394.00 |
| 9 | 中国工商银行股份有限公司－诺安先锋混合型证券投资基金 | 266.21 | 1.33 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 227.20 | 1.13 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 10307.64 | 51.46 | ||||
| 剔除公募合计 | 9814.24 | 49.00 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 杭州广立微股权投资有限公司 关联流通股东 | 3324.28 | 19.05 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 杭州广立共创投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 1824.77 | 10.46 | 其他 | 流通A股 | -74.82 |
| 3 | 杭州广立共进企业管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 529.64 | 3.04 | 其他 | 流通A股 | -21.72 |
| 4 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 451.49 | 2.59 | 其他 | 流通A股 | 156.70 |
| 5 | 史峥 关联流通股东 | 409.40 | 2.35 | 其他 | 流通A股 | -0.20 |
| 6 | 北京武岳峰中清正合科技创业投资管理有限公司－北京武岳峰亦合高科技产业投资合伙企业（有限合伙） | 284.08 | 1.63 | 其他 | 流通A股 | -394.00 |
| 7 | 郑勇军 关联流通股东 | 269.55 | 1.56 | 其他 | 流通A股 | -31.51 |
| 8 | 中国工商银行股份有限公司－诺安先锋混合型证券投资基金 | 266.21 | 1.54 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 9 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 227.20 | 1.31 | 基金 | 流通A股 | -0.88 |
| 10 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 157.99 | 0.91 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 7744.60 | 44.43 | ||||
| 剔除公募合计 | 7251.19 | 41.57 |