| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 赵轶 关联流通股东 | 7450.64 | 23.74 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 2782.26 | 8.87 | 其他 | 流通A股 | -313.78 |
| 3 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 1976.77 | 6.30 | 其他 | 流通A股 | -193.81 |
| 4 | 钟锋浩 关联流通股东 | 1809.11 | 5.77 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 5 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 1032.76 | 3.29 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 韩笑 关联流通股东 | 825.22 | 2.63 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 7 | 孙峰 关联流通股东 | 820.24 | 2.61 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 8 | 吴晓婷 关联流通股东 | 669.99 | 2.14 | 其他 | 流通A股 | -0.01 |
| 9 | 朱红军 关联流通股东 | 553.79 | 1.76 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 10 | 中信证券股份有限公司 关联流通股东 | 496.49 | 1.58 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 18417.26 | 58.69 | ||||
| 剔除公募合计 | 18417.26 | 58.69 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 2782.26 | 14.92 | 其他 | 流通A股 | -313.78 |
| 2 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 1976.77 | 10.60 | 其他 | 流通A股 | -193.81 |
| 3 | 赵轶 关联流通股东 | 1862.66 | 9.99 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 4 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 1032.76 | 5.54 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 吴晓婷 关联流通股东 | 669.99 | 3.59 | 其他 | 流通A股 | -0.01 |
| 6 | 中信证券股份有限公司 关联流通股东 | 496.49 | 2.66 | 其他 | 流通A股 | 11.42 |
| 7 | 钟锋浩 关联流通股东 | 452.28 | 2.43 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 8 | 韩笑 关联流通股东 | 206.30 | 1.11 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 9 | 孙峰 关联流通股东 | 205.06 | 1.10 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 合计 | 9684.57 | 51.95 | ||||
| 剔除公募合计 | 9684.57 | 51.95 |