| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 沈洁 关联流通股东 | 6045.19 | 8.75 | 其他 | 流通A股 | -691.15 |
| 2 | 张兴国 关联流通股东 | 3617.63 | 5.23 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 3 | 北京宏裕融基创业投资中心（有限合伙） 关联流通股东 | 1352.92 | 1.96 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 南京大学资本运营有限公司 关联流通股东 | 1314.49 | 1.90 | 其他 | 流通A股 | -367.30 |
| 5 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 1310.08 | 1.90 | 基金 | 流通A股 | -261.00 |
| 6 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 974.18 | 1.41 | 其他 | 流通A股 | -258.33 |
| 7 | 中国银行股份有限公司－易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 504.56 | 0.73 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 8 | 中国工商银行股份有限公司－易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金 | 362.63 | 0.52 | 基金 | 流通A股 | -213.21 |
| 9 | 招商银行股份有限公司－广发中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 345.71 | 0.50 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 张建富 关联流通股东 | 340.49 | 0.49 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 16167.88 | 23.39 | ||||
| 剔除公募合计 | 13644.90 | 19.74 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 沈洁 关联流通股东 | 6045.19 | 9.14 | 其他 | 流通A股 | -691.15 |
| 2 | 北京宏裕融基创业投资中心（有限合伙） 关联流通股东 | 1352.92 | 2.05 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 南京大学资本运营有限公司 关联流通股东 | 1314.49 | 1.99 | 其他 | 流通A股 | -367.30 |
| 4 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 1310.08 | 1.98 | 基金 | 流通A股 | -261.00 |
| 5 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 974.18 | 1.47 | 其他 | 流通A股 | -258.33 |
| 6 | 张兴国 关联流通股东 | 904.41 | 1.37 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 7 | 中国银行股份有限公司－易方达中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 504.56 | 0.76 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 8 | 中国工商银行股份有限公司－易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金 | 362.63 | 0.55 | 基金 | 流通A股 | -213.21 |
| 9 | 招商银行股份有限公司－广发中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 345.71 | 0.52 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 张建富 关联流通股东 | 340.49 | 0.51 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 13454.66 | 20.35 | ||||
| 剔除公募合计 | 10931.68 | 16.53 |