| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | MEMSLink Corporation 关联流通股东 | 8080.00 | 20.17 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 2 | 安徽北方微电子研究院集团有限公司 关联流通股东 | 5600.00 | 13.98 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 北京芯动联科微电子技术有限公司 关联流通股东 | 5392.00 | 13.46 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 4 | 北方电子研究院有限公司 关联流通股东 | 1999.30 | 4.99 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 宣佩琦 关联流通股东 | 1152.00 | 2.88 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 6 | 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司－福州高新区国兵晟乾成长股权投资合伙企业（有限合伙） | 799.73 | 2.00 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 7 | 北京自动化控制设备研究所 关联流通股东 | 700.00 | 1.75 | 其他 | 流通A股 | -257.60 |
| 8 | 华亚平 关联流通股东 | 640.00 | 1.60 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 9 | 金晓冬 关联流通股东 | 528.00 | 1.32 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 10 | 林明 关联流通股东 | 480.00 | 1.20 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 25371.03 | 63.35 | ||||
| 剔除公募合计 | 25371.03 | 63.35 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 安徽北方微电子研究院集团有限公司 关联流通股东 | 5600.00 | 22.68 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 北方电子研究院有限公司 关联流通股东 | 1999.30 | 8.10 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 北京国兵晟乾投资管理有限责任公司－福州高新区国兵晟乾成长股权投资合伙企业（有限合伙） | 799.73 | 3.24 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 北京自动化控制设备研究所 关联流通股东 | 700.00 | 2.84 | 其他 | 流通A股 | -257.60 |
| 5 | 华亚平 关联流通股东 | 640.00 | 2.59 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 林明 关联流通股东 | 480.00 | 1.94 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 7 | 季强 关联流通股东 | 400.88 | 1.62 | 其他 | 流通A股 | 45.66 |
| 8 | 深圳一元航天私募股权基金管理有限公司－航天京开创业投资（潍坊）合伙企业（有限合伙） | 352.40 | 1.43 | 其他 | 流通A股 | -120.00 |
| 9 | 中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 345.66 | 1.40 | 基金 | 流通A股 | 0.24 |
| 10 | 嘉兴鑫汇芯联创业投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 320.00 | 1.30 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 11637.96 | 47.14 | ||||
| 剔除公募合计 | 11292.30 | 45.74 |