| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 上海国盛（集团）有限公司 关联流通股东 | 54800.00 | 16.58 | 其他 | 流通A股 | 200.00 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 51205.65 | 15.49 | 其他 | 流通A股 | -5494.35 |
| 3 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 29899.47 | 9.05 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 4 | 上海嘉定工业区开发（集团）有限公司 关联流通股东 | 12499.06 | 3.78 | 其他 | 流通A股 | -19.30 |
| 5 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 关联流通股东 | 11154.60 | 3.38 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 6 | 海富产业投资基金管理有限公司－海富半导体创业投资（嘉兴）合伙企业（有限合伙） | 10448.94 | 3.16 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 7 | 上海新微科技集团有限公司 关联流通股东 | 8246.08 | 2.50 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 8 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 6623.66 | 2.00 | 基金 | 流通A股 | -852.73 |
| 9 | 中建材（安徽）新材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 4662.36 | 1.41 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 10 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 4368.95 | 1.32 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 193908.75 | 58.67 | ||||
| 剔除公募合计 | 182916.15 | 55.35 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 上海国盛（集团）有限公司 关联流通股东 | 54800.00 | 20.06 | 其他 | 流通A股 | 200.00 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 51205.65 | 18.75 | 其他 | 流通A股 | -5494.35 |
| 3 | 上海嘉定工业区开发（集团）有限公司 关联流通股东 | 12499.06 | 4.58 | 其他 | 流通A股 | -19.30 |
| 4 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 关联流通股东 | 10813.57 | 3.96 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 上海新微科技集团有限公司 关联流通股东 | 8246.08 | 3.02 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 7201.15 | 2.64 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 7 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 6623.66 | 2.42 | 基金 | 流通A股 | -852.73 |
| 8 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 4368.95 | 1.60 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 9 | 中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 4020.56 | 1.47 | 基金 | 流通A股 | -327.03 |
| 10 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 3922.32 | 1.44 | 其他 | 流通A股 | 114.31 |
| 合计 | 163700.99 | 59.93 | ||||
| 剔除公募合计 | 148687.83 | 54.43 |