| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 上海国盛（集团）有限公司 关联流通股东 | 56700.00 | 20.84 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 56700.00 | 20.84 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 3 | 上海嘉定工业区开发（集团）有限公司 关联流通股东 | 15017.83 | 5.52 | 其他 | 流通A股 | -960.00 |
| 4 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 14040.00 | 5.16 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 关联流通股东 | 13965.35 | 5.13 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 上海新微科技集团有限公司 关联流通股东 | 12408.00 | 4.56 | 其他 | 流通A股 | -1466.00 |
| 7 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 7201.15 | 2.65 | 其他 | 限售股 | 新进 |
| 8 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 6348.90 | 2.33 | 基金 | 限售股+流通A股 | 1688.74 |
| 9 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 5930.86 | 2.18 | 基金 | 流通A股 | 380.79 |
| 10 | 上海盛石资本管理有限公司－台州中硅股权投资合伙企业（有限合伙） | 3907.83 | 1.44 | 其他 | 限售股 | 新进 |
| 合计 | 192219.91 | 70.65 | ||||
| 剔除公募合计 | 179940.15 | 66.14 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 上海嘉定工业区开发（集团）有限公司 关联流通股东 | 15017.83 | 11.31 | 其他 | 流通A股 | 267.26 |
| 2 | 上海武岳峰集成电路股权投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 14040.00 | 10.58 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 关联流通股东 | 13965.35 | 10.52 | 其他 | 流通A股 | 13965.35 |
| 4 | 上海新微科技集团有限公司 关联流通股东 | 12408.00 | 9.35 | 其他 | 流通A股 | -1466.00 |
| 5 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 5930.86 | 4.47 | 基金 | 流通A股 | 380.79 |
| 6 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金 | 4827.06 | 3.64 | 基金 | 限售股+流通A股 | 166.90 |
| 7 | 中保投资有限责任公司－中国保险投资基金（有限合伙） | 2862.23 | 2.16 | 保险 | 流通A股 | 未变 |
| 8 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 2313.29 | 1.74 | 其他 | 流通A股 | 98.06 |
| 9 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 1936.29 | 1.46 | 基金 | 流通A股 | 445.67 |
| 10 | 建聲實業有限公司 关联流通股东 | 1745.28 | 1.31 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 75046.19 | 56.53 | ||||
| 剔除公募合计 | 59489.75 | 44.81 |