| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 赵轶 关联流通股东 | 7450.64 | 23.74 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 3096.04 | 9.87 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 2170.57 | 6.92 | 其他 | 流通A股 | -237.02 |
| 4 | 钟锋浩 关联流通股东 | 1809.11 | 5.77 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 5 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 1032.76 | 3.29 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 韩笑 关联流通股东 | 825.22 | 2.63 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 7 | 孙峰 关联流通股东 | 820.24 | 2.61 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 8 | 吴晓婷 关联流通股东 | 670.00 | 2.14 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 9 | 秦怡 关联流通股东 | 620.03 | 1.98 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 朱红军 关联流通股东 | 553.79 | 1.76 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 合计 | 19048.41 | 60.71 | ||||
| 剔除公募合计 | 19048.41 | 60.71 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 3096.04 | 16.61 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 2170.57 | 11.64 | 其他 | 流通A股 | -237.02 |
| 3 | 赵轶 关联流通股东 | 1862.66 | 9.99 | 其他 | 限售股+流通A股 | 382.50 |
| 4 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 1032.76 | 5.54 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 吴晓婷 关联流通股东 | 670.00 | 3.59 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 秦怡 关联流通股东 | 620.03 | 3.33 | 其他 | 流通A股 | 360.41 |
| 7 | 中信证券股份有限公司 关联流通股东 | 485.06 | 2.60 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 9 | 钟锋浩 关联流通股东 | 452.28 | 2.43 | 其他 | 限售股+流通A股 | 150.00 |
| 10 | 余健 关联流通股东 | 317.83 | 1.70 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 10707.24 | 57.43 | ||||
| 剔除公募合计 | 10707.24 | 57.43 |