| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 赵轶 关联流通股东 | 7960.64 | 25.33 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 3096.04 | 9.85 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 3 | 杭州长川投资管理合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 2470.95 | 7.86 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 4 | 钟锋浩 关联流通股东 | 2009.11 | 6.39 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 5 | 宁波天堂硅谷和慧创业投资合伙企业（有限合伙） 关联流通股东 | 1032.76 | 3.29 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 5 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 1032.76 | 3.29 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 7 | 韩笑 关联流通股东 | 1005.22 | 3.20 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 8 | 孙峰 关联流通股东 | 995.40 | 3.17 | 其他 | 限售股 | -60.65 |
| 9 | 朱红军 关联流通股东 | 703.79 | 2.24 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 10 | 中国工商银行股份有限公司－广发双擎升级混合型证券投资基金 | 702.06 | 2.23 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 21008.73 | 66.85 | ||||
| 剔除公募合计 | 20306.68 | 64.62 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 2063.28 | 16.17 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 2 | 中国工商银行股份有限公司－广发双擎升级混合型证券投资基金 | 702.06 | 5.50 | 基金 | 流通A股 | 229.99 |
| 3 | 中国建设银行股份有限公司－广发科技先锋混合型证券投资基金 | 599.99 | 4.70 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 4 | 浙江天堂硅谷合丰创业投资有限公司 关联流通股东 | 595.76 | 4.67 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 472.90 | 3.71 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 6 | 中国建设银行股份有限公司－广发多元新兴股票型证券投资基金 | 326.37 | 2.56 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 7 | 杭州士兰创业投资有限公司 关联流通股东 | 297.84 | 2.33 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 8 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体行业交易型开放式指数证券投资基金 | 297.59 | 2.33 | 基金 | 流通A股 | 199.84 |
| 9 | 全国社保基金一一四组合 | 157.26 | 1.23 | 社保 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 中国工商银行股份有限公司－广发国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 128.81 | 1.01 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 5641.86 | 44.21 | ||||
| 剔除公募合计 | 2956.88 | 23.17 |