| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 飞凯控股有限公司 关联流通股东 | 16985.18 | 32.93 | 其他 | 流通A股 | -334.36 |
| 2 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 3584.62 | 6.95 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 王莉莉 关联流通股东 | 1231.34 | 2.39 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 关联流通股东 | 1225.68 | 2.38 | 其他 | 流通A股 | 8.40 |
| 5 | 北京芯动能投资基金（有限合伙） | 895.52 | 1.74 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 上海康奇投资有限公司 关联流通股东 | 884.67 | 1.71 | 其他 | 流通A股 | 2.00 |
| 7 | 中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 821.08 | 1.59 | 基金 | 流通A股 | -55.76 |
| 8 | 于建安 关联流通股东 | 578.26 | 1.12 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 9 | 江苏凯凯电信器材有限公司 关联流通股东 | 496.78 | 0.96 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 深圳市汉志投资有限公司 关联流通股东 | 452.61 | 0.88 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 27155.76 | 52.65 | ||||
| 剔除公募合计 | 26334.68 | 51.06 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 飞凯控股有限公司 关联流通股东 | 16985.18 | 33.51 | 其他 | 流通A股 | -334.36 |
| 2 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 3584.62 | 7.07 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 3 | 王莉莉 关联流通股东 | 1231.34 | 2.43 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 4 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 关联流通股东 | 1225.68 | 2.42 | 其他 | 流通A股 | 8.40 |
| 5 | 北京芯动能投资基金（有限合伙） | 895.52 | 1.77 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 上海康奇投资有限公司 关联流通股东 | 884.67 | 1.75 | 其他 | 流通A股 | 2.00 |
| 7 | 中国建设银行股份有限公司-华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 821.08 | 1.62 | 基金 | 流通A股 | -55.76 |
| 8 | 于建安 关联流通股东 | 572.78 | 1.13 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 9 | 江苏凯凯电信器材有限公司 关联流通股东 | 496.78 | 0.98 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 10 | 深圳市汉志投资有限公司 关联流通股东 | 452.61 | 0.89 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 27150.27 | 53.56 | ||||
| 剔除公募合计 | 26329.19 | 51.94 |