| 股票代码： 报表日查询： 年 |
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| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 沈洁 关联流通股东 | 6736.34 | 9.75 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 张兴国 关联流通股东 | 3617.63 | 5.23 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 3 | 南京大学资本运营有限公司 关联流通股东 | 1681.79 | 2.43 | 其他 | 流通A股 | -9.00 |
| 4 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 1571.09 | 2.27 | 基金 | 流通A股 | 777.47 |
| 5 | 北京宏裕融基创业投资中心（有限合伙） 关联流通股东 | 1352.92 | 1.96 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 1232.52 | 1.78 | 其他 | 流通A股 | 572.82 |
| 7 | 中国工商银行股份有限公司－易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金 | 575.84 | 0.83 | 基金 | 流通A股 | -552.20 |
| 8 | 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 514.06 | 0.74 | 基金 | 流通A股 | -492.23 |
| 9 | 上海同华创业投资股份有限公司 关联流通股东 | 462.81 | 0.67 | 其他 | 流通A股 | -52.60 |
| 10 | 国泰海通证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 439.44 | 0.64 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 18184.43 | 26.30 | ||||
| 剔除公募合计 | 15084.00 | 21.82 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 沈洁 关联流通股东 | 6736.34 | 10.27 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 南京大学资本运营有限公司 关联流通股东 | 1681.79 | 2.56 | 其他 | 流通A股 | -9.00 |
| 3 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 1571.09 | 2.40 | 基金 | 流通A股 | 777.47 |
| 4 | 北京宏裕融基创业投资中心（有限合伙） 关联流通股东 | 1352.92 | 2.06 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 5 | 香港中央结算有限公司 关联流通股东 | 1232.52 | 1.88 | 其他 | 流通A股 | 572.82 |
| 6 | 张兴国 关联流通股东 | 904.41 | 1.38 | 其他 | 流通A股 | 518.37 |
| 7 | 中国工商银行股份有限公司－易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金 | 575.84 | 0.88 | 基金 | 流通A股 | -552.20 |
| 8 | 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 514.06 | 0.78 | 基金 | 流通A股 | -492.23 |
| 9 | 上海同华创业投资股份有限公司 关联流通股东 | 462.81 | 0.71 | 其他 | 流通A股 | -52.60 |
| 10 | 国泰海通证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 439.44 | 0.67 | 基金 | 流通A股 | 9.04 |
| 合计 | 15471.21 | 23.58 | ||||
| 剔除公募合计 | 12370.78 | 18.86 |