十大股东分析 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 上海国盛（集团）有限公司 | 54800.00 | 16.58 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 41290.58 | 12.49 | 其他 | 流通A股 | -9915.07 |
| 3 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 29899.47 | 9.05 | 其他 | 限售股+流通A股 | 未变 |
| 4 | 上海嘉定工业区开发（集团）有限公司 | 12397.56 | 3.75 | 其他 | 流通A股 | -101.50 |
| 5 | 海富产业投资基金管理有限公司－海富半导体创业投资（嘉兴）合伙企业（有限合伙） | 10448.94 | 3.16 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 6 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 9644.48 | 2.92 | 其他 | 流通A股 | -1510.12 |
| 7 | 上海新微科技集团有限公司 | 5246.08 | 1.59 | 其他 | 流通A股 | -3000.00 |
| 8 | 香港中央结算有限公司 | 5125.07 | 1.55 | 其他 | 流通A股 | 新进 |
| 9 | 中建材（安徽）新材料产业投资基金合伙企业（有限合伙） | 4662.36 | 1.41 | 其他 | 限售股 | 未变 |
| 10 | 长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 3370.96 | 1.02 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 合计 | 176885.48 | 53.52 | ||||
| 剔除公募合计 | 173514.53 | 52.50 |
| 序号 | 十大股东 | 持股数（万股） | 占总股本比例（%） | 类型 | 股本性质 | 增减情况 |
| 1 | 上海国盛（集团）有限公司 | 54800.00 | 19.28 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 41290.58 | 14.53 | 其他 | 流通A股 | -9915.07 |
| 3 | 上海嘉定工业区开发（集团）有限公司 | 12397.56 | 4.36 | 其他 | 流通A股 | -101.50 |
| 4 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 9644.48 | 3.39 | 其他 | 流通A股 | -1169.09 |
| 5 | 华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司 | 7201.15 | 2.53 | 其他 | 流通A股 | 未变 |
| 6 | 上海新微科技集团有限公司 | 5246.08 | 1.85 | 其他 | 流通A股 | -3000.00 |
| 7 | 香港中央结算有限公司 | 5125.07 | 1.80 | 其他 | 流通A股 | 1202.75 |
| 8 | 长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 3370.96 | 1.19 | 基金 | 流通A股 | 新进 |
| 9 | 广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 3134.16 | 1.10 | 基金 | 流通A股 | -1234.79 |
| 10 | 招商银行股份有限公司－华夏上证科创板50成份交易型开放式指数证券投资基金 | 2999.11 | 1.06 | 基金 | 流通A股 | -3624.55 |
| 合计 | 145209.14 | 51.09 | ||||
| 剔除公募合计 | 135704.91 | 47.75 |